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单晶硅棒
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产品描述
品牌:西京科技
单位:西京电子科技有限公司
规格:Silicon Rod
详细介绍

单晶硅圆棒技术参数

Technical parameters of monocrystalline silicon rod

 

类型

Type

晶体生长方式

Crystal growth method

CZ

导电类型

Conductance type

P

性能

Capability

电阻率(Ω•cm)

Resistivity

1.0~3.0,3.0~6.0

氧含量(atoms/cm3

Oxygen

≤1.0×1018

碳含量(atoms/cm3

Carbon

≤8.0×1016

少子寿命(μs

Life time

≥5

位错密度(/cm2

Dislocation density

≤3000

外形

Externality

硅棒直径(mm

Round-stick diameter

6.5″;8″;8.4

外观

Appearance

边缘缺陷 edge defect quantity

深度≤0.5mm       edge defect depth≤0.5mm

长度≤1.0mm   edge defect   length≤1.0mm

≤2

表面污点/斑点

Dirt

none

表面穿孔/裂纹

Hole/crack

none

目视翘曲

Obvious tactility

none


 

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